产品中心
PRODUCT CENTER
产品详情
简单介绍：
超高精度旋转台
详情介绍：
超高精度旋转台采用高精度嵌套式双轴气浮轴承,专为角度测量设计;转台双轴采用超精密气浮轴承;通过内、外轴同步运动与独立运动的组合实现内部自校准、外部自动交叉校准，主要用于产生高精度角度与高稳定性角速度;采用三组高精度光栅采集角度,每个光栅配多个读数头实现自校准;配置一套高可靠线性驱动控制系统。
产品特点
具备高运动精度和超平滑率;
具备转台内部交叉自校准所需的所有运动模式，
超高运动精度和运动速率稳定性;
高精度角度与高稳定性角速度
深亚秒级静态角度和1ppm稳定角速度;
可根据用户需求定制。
产品应用
半导体制造与检测**机床与五轴加工
光学制造与检测
精密测量与科研实验
航空航天等领域