HAMAMATSU滨松晶圆玻璃薄膜厚度测量仪C15151-01

应用：高速测量晶圆、玻璃和薄膜的厚度。（测量范围：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C15151-01 是一种利用光谱干涉法的非接触式膜厚测量系统。这种大功率、高度稳定的白光源支持**测量薄膜厚度，即使是超薄薄膜也是如此。此外，光源的使用寿命为 10,000 小时，适用于在线操作。

特点

・用于超薄薄膜测量（玻璃：1 nm 起，硅：0.43 nm 起）

・高精度（测量可再现性：≤ 0.1 nm）*测量 2 nm 厚度的二氧化硅 (SiO2) 时

・使用大功率白光源

・使用寿命长（维护周期：1 年以上）

・支持 PLC 连接

・缩短周期时间（高达 200 Hz）

・涵盖宽波长范围（200 nm 至 790 nm）

・软件中添加了简化的测量

・能够同时进行表面分析

・在距离存在波动的条件下提高测量稳定性

・分析光学常数（n、k）

产品编号	C15151-01
测量薄膜厚度范围	玻璃1：1 nm 至 20 μm 硅2：0.43 nm*3 至 8.6 μm
测量可再现性	玻璃 45：0.1 nm 硅*6：1 nm
测量精度5 7	±0.4 %
光源	大功率白光源
测量波长范围	200 nm 至 790 nm
光斑尺寸*5	约 Φ1 mm
工作距离 *5	10 mm 起
可测量层数	*多 10 层
分析	FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
*短的节拍时间	< 2 ms/point
外部通信接口	以太网
输出信号	模拟输出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（*多 3 层）警报输出：TTL/高阻抗单通道警告输出：TTL/高阻抗单通道
输入信号	测量开始信号：TTL/高阻抗单通道
电源电压	AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗	约 130 VA
光导连接器形状	FC

*1 当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*2 当以玻璃折射率 3.67 进行转换时。
*3 这是转换为硅折射率的计算值 (3.67)。

*4 测量 2 nm 厚玻璃薄膜时的标准偏差（公差）。

*5 取决于使用的光学系统或物镜放大率。

*6 测量 30 μm 厚标准具时的标准偏差（容差）。

*7 VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。